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半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、光盤、鍍膜玻璃、導電玻璃、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水及超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術分為五個行業(yè)標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。
 詳細介紹
»電子行業(yè)超純水生產(chǎn)線典型工藝流程
電子行業(yè)制備超純水的工藝大致分成以下幾種：
1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：
●源水（箱）→源水泵→機械過濾器→活性炭過濾器→軟水器（根據(jù)水的硬度來選用）→精密過濾器→陽床→陰床→混床（單級或雙級）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式，是比較經(jīng)濟和流行的一種方式，其基本工藝流程為：
●源水（箱）→源水泵→機械過濾器→活性炭過濾器→軟水器（根據(jù)水的硬度來選用）→精密過濾器→反滲透設備→中間水箱→混床（單級或雙級）→。。。。。�！盟c
A、源水（箱）→源水泵→機械過濾器→活性炭過濾器→軟水器（根據(jù)水的硬度來選用）→精密過濾器→高壓泵→反滲透裝置 （根據(jù)源水水質(zhì)可設單級或雙級）→中間水箱→混合離子交換器（單級或雙級）→終端過濾器→產(chǎn)品水箱→用水點
B、源水（箱）→源水泵→機械過濾器→活性炭過濾器→軟水器（根據(jù)水的硬度來選用）→精密過濾器→高壓泵→反滲透裝置（根據(jù)源水水質(zhì)可設單級或雙級）→中間水箱→混合離子交換器（單級或雙級）→產(chǎn)品水箱→純水泵→核級樹脂→終端過濾器→用水點
3、采用反滲透水處理設備與電去離子（EDI）設備進行搭配的的方式，這是一種制取超純水的最新工藝，也是一種發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に�，其基本工藝流程為�?br>
●源水（箱）→源水泵→機械過濾器→活性炭過濾器→軟水器（根據(jù)水的硬度來選用）→精密過濾器→原水箱→反滲透設備（根據(jù)源水水質(zhì)可設單級或雙級）→中間水箱→電去離子（EDI）→純水箱→純水泵→后置過濾器→用水點
A、源水（箱）→源水泵→機械過濾器→活性炭過濾器→軟水器（根據(jù)水的硬度來選用）→精密過濾器→高壓泵→反滲透裝置（根據(jù)源水水質(zhì)可設單級或雙級）→中間水箱→EDI→產(chǎn)品水箱→用水點
B、源水（箱）→源水泵→機械過濾器→活性炭過濾器→軟水器（根據(jù)水的硬度來選用）→精密過濾器→高壓泵→反滲透裝置（根據(jù)源水水質(zhì)可設單級或雙級）→中間水箱→EDI→產(chǎn)品水箱→純水泵→核級樹脂→終端過濾器→用水點
實際工作中根據(jù)源水水質(zhì)和出水要求適當取舍或添加，確定工藝！
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»三種制備電子工業(yè)用超純水的工藝比較
目前制備電子工業(yè)超純水的工藝基本上是以上三種，其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎上進行不同組合搭配衍生而來�，F(xiàn)將他們的優(yōu)缺點分別列于下面：
1、第一種采用傳統(tǒng)的離子交換樹脂其優(yōu)點在于初次投資少，占用的地方少，但缺點就是需要經(jīng)常進行離子再生，耗費大量酸堿，而且對環(huán)境有一定的破壞。
2、第二種采用反滲透+離子交換設備，其特點為初次投資比采用離子交換樹脂方式要稍高，但離子再生周期相對要長，耗費的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。是目前比較經(jīng)濟與流行的一種工藝。
3、第三種采用反滲透作預處理再配上電去離子（EDI）裝置，這是目前制取超純水最先進，最環(huán)保的的工藝，不需要用酸堿進行再生便可連續(xù)制取超純水，對環(huán)境沒什么破壞性。其缺點在于初次投資相對以上兩種方式過于昂貴。
»我們公司生產(chǎn)的電子級超純水設備特點
設備通常由機械過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟水器、精密過濾器等構成前期預處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床系統(tǒng)或EDI電脫鹽系統(tǒng)等構成主要設備系統(tǒng)。水箱均設有液位控制系統(tǒng)、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人職守，同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使設備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價比和設備可靠性。
»電子行業(yè)超純水設備應用范圍
1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路；
2、超純材料和超純化學試劑；
3、實驗室和中試車間；
4、汽車、家電表面拋光處理；
5、光電產(chǎn)品；
6、其他高科技精微產(chǎn)品；
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