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行業(yè)知識-> 水質(zhì)指標-> 中華人民共和國國家標準行業(yè)超純水標準

中華人民共和國國家標準行業(yè)超純水標準

 

中國電子行業(yè)超純水國家標準
(GB/T11446.1-1997 )

EW-1

EW-2

 電阻率MΩ.CM. 25℃

18(95‰時間)不低于17

15(95‰時間)不低于13

  硅   ≤μg/L

2

10

  微粒數(shù) >1μm

0.1

5

 細菌個數(shù) /ml

0.01

0.1

  銅   ≤μg/L

0.2

1

  鋅   ≤μg/L

0.2

1

  鎳   ≤μg/L

0.1

1

  鈉   ≤μg/L

0.5

2

  鉀   ≤μg/L

0.5

2

  氯   ≤μg/L

1

1

 硝酸根  ≤μg/L

1

1

 磷酸根  ≤μg/L

1

1

 硫酸根  ≤μg/L

1

1

 總有機碳 ≤μg/L

20

100


中國國家電子級超純水GB/TII446.11997標準

 指標\級別

 EW

 EW

EWⅢ 

EW-Ⅳ

電阻率,cm(25℃)

18以上,(95%時間)不低于17

15,(95%時間)不低于13

 12.0   

0.5   

全硅,最大值,μg/L

2

10

50

1000

1μm微粒數(shù),最大值,個/mL

0.1

5

10

500

 細菌個數(shù),最大值,個/mL

0.01

0.1

10

100

 銅,最大值,μg/L

0.2

1

2

500

 鋅,最大值,μg/L

0.2

1

5

500

 鎳,最大值,μg/L

0.1

1

2

500

 鈉,最大值,μg/L

0.5

2

5

1000

 鉀,最大值,μg/L

0.5

2

5

500

 氯,最大值,μg/L

1

1

10

1000

 硝酸根,最大值,μg/L

1

1

5

500

 磷酸根,最大值,μg/L

1

1

5

500

 硫酸根,最大值,μg/L

1

1

5

500

 總有機酸,最大值,μg/L

20

100

200

1000


中國實驗室用水國家標準
  實驗用三個等級凈化水的技術(shù)要求(GB66821992)

一級水:基本上不含有溶解或膠態(tài)離子雜質(zhì)及有機物。它可用二級水經(jīng)進一步處理而制得。
二級水:可含有微量的無機、有機或膠態(tài)雜質(zhì)。
三級水:適用一般實驗室實驗工作。

pH值范圍(25oC )

5.0-7.5

電導(dǎo)率 (25oC )(μs/cm) ≤

0.1

1.0

5.0

可氧化物的限度試驗

符合

符合

吸光度(254nm,1cm 光程) ≤

0.001

0.01

二氧化硅(mg/L) ≤

0.02

0.05

                              
                                 中國實驗室用水國家標準

                                   實驗用三個等級凈化水的技術(shù)要求(GB6682-2008)
純水水質(zhì)按照GB6682
-2008水標準進行分類,可以分為以下三類:
(1)三級水標準,電阻率0.2 MΩ.cm @ 25℃;
(2)二級水標準,電阻率≥1MΩ.cm @25℃; 
(3)一級水標準,電阻率≥18 .25MΩ.cm@25℃。

指標

一級

二級

三級

pH值范圍(25℃)

--

--

5.0-7.5

電導(dǎo)率(25℃),mS/m.                ≤

0.01

0.10

0.50

可氧化物質(zhì)(以0計),mg/L           <

--

0.08

0.4

吸光度(254nm,1cm光程)              ≤

0.001

0.01

--

蒸發(fā)殘渣(105°±2℃),mg/L         ≤

--

1.0

2.0

可溶性硅(以SiO2計)mg/L             <

0.01

0.02

--


 

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